石田 宏一 | Necシリコンシステム研究所
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概要
関連著者
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石田 宏一
Necシリコンシステム研究所
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五十嵐 信行
NECシリコンシステム研究所
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五十嵐 信行
Necマイクロエレクトロニクス研
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石田 宏一
NECマイクロエレ研
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辰巳 徹
NECマイクロエレクトロニクス研究所
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寺岡 有殿
日本電気(株)マイクロエレクトニクス研究所
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秋本 晃一
Necマイクロエレ研
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五十嵐 信行
日本電気(株)システムデバイス研究所
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五十嵐 信行
日本電気株式会社システムデバイス研究所
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五十嵐 信行
Necシリコンシステム研
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青砥 なほみ
NEC ULSIデバイス開発研究所
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青砥 なほみ
Nec Ulsiデバイス開研
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西山 岩男
日本電気(株)マイクロエレクトニクス研究所
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中森 雅治
NEC ULSIデバイス開発研究所
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石田 宏一
NEC ULSIデバイス開発研究所
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寺岡 有殿
NECマイクロエレクトロニクス研究所
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西山 岩男
NECマイクロエレクトロニクス研究所
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辰巳 徹
日本電気株式会社
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五十嵐 信行
日本電気マイクロエレクトロニクス研究所
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石田 宏一
日本電気マイクロエレクトロニクス研究所
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酒井 朗
日電・基研
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五十嵐 信行
日電・基研
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馬場 寿夫
日電・基研
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石田 宏一
日電・基研
著作論文
- 微細コンタクトホール底Si表面自然酸化膜の制御
- 31a-WC-10 Si/Ge界面2x1秩序構造のHREM, GID観察
- VI. 半導体人工格子, 量子ドット 半導体へテロエピタキシャル界面構造の原子スケール観察
- 半導体人工格子,量子ドット (ミニ特集 電子顕微鏡による材料研究の最前線(第2回)半導体・セラミックス機能材料の格子欠陥とミクロ構造の観察)
- 29a-ZB-7 Si/Ge界面の高分解能電子顕微鏡観察
- 27a-S-6 AlAs/GaAs界面のステップ構造の高分解能電子顕微鏡観察
- 31p-TH-4 高分解能電子顕微鏡を用いた半導体ヘテロ界面の観察法(31pTH X線・粒子線)