五十嵐 信行 | Necマイクロエレクトロニクス研
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概要
関連著者
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五十嵐 信行
Necマイクロエレクトロニクス研
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石田 宏一
Necシリコンシステム研究所
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五十嵐 信行
NECシリコンシステム研究所
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石田 宏一
NECマイクロエレ研
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辰巳 徹
NECマイクロエレクトロニクス研究所
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寺岡 有殿
日本電気(株)マイクロエレクトニクス研究所
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秋本 晃一
Necマイクロエレ研
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五十嵐 信行
日本電気(株)システムデバイス研究所
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五十嵐 信行
日本電気株式会社システムデバイス研究所
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青砥 なほみ
NEC ULSIデバイス開発研究所
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青砥 なほみ
Nec Ulsiデバイス開研
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西山 岩男
日本電気(株)マイクロエレクトニクス研究所
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中森 雅治
NEC ULSIデバイス開発研究所
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石田 宏一
NEC ULSIデバイス開発研究所
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寺岡 有殿
NECマイクロエレクトロニクス研究所
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西山 岩男
NECマイクロエレクトロニクス研究所
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辰巳 徹
日本電気株式会社
著作論文
- 微細コンタクトホール底Si表面自然酸化膜の制御
- 31a-WC-10 Si/Ge界面2x1秩序構造のHREM, GID観察
- 29a-ZB-7 Si/Ge界面の高分解能電子顕微鏡観察
- AlAs/GaAs界面におけるステップ構造の高分解能電子顕微鏡観察
- 28p-N-5 高分解能電子顕微鏡法による半導体界面原子構造の解析