寺岡 有殿 | 日本電気(株)マイクロエレクトニクス研究所

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関連著者

• 寺岡 有殿

  日本電気(株)マイクロエレクトニクス研究所

• 西山 岩男

  日本電気(株)マイクロエレクトニクス研究所

• 五十嵐 信行

  NECシリコンシステム研究所

• 石田 宏一

  Necシリコンシステム研究所

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• 青砥 なほみ

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• 石田 宏一

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• 寺岡 有殿

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• 西山 岩男

  NECマイクロエレクトロニクス研究所

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著作論文

• 並進エネルギーを制御した塩素分子線によるシリコンのエッチング反応
• 超熱エネルギーCl_2ビームによるSi(100)の並進エネルギー誘起エッチング
• 微細コンタクトホール底Si表面自然酸化膜の制御

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