並進エネルギーを制御した塩素分子線によるシリコンのエッチング反応

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概要

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• 1995-09-10

著者

• 寺岡 有殿

  日本電気(株)マイクロエレクトニクス研究所

• 西山 岩男

  日本電気(株)マイクロエレクトニクス研究所

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