西山 岩男 | 日本電気(株)マイクロエレクトニクス研究所

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関連著者

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  日本電気(株)マイクロエレクトニクス研究所

• 西山 岩男

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• 石田 宏一

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• 西山 岩男

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著作論文

• 並進エネルギーを制御した塩素分子線によるシリコンのエッチング反応
• 超熱エネルギーCl_2ビームによるSi(100)の並進エネルギー誘起エッチング
• 微細コンタクトホール底Si表面自然酸化膜の制御

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