加藤 弘一 | 東芝研究開発センターLSI基盤技術ラボラトリー
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概要
関連著者
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加藤 弘一
東芝研究開発センターLSI基盤技術ラボラトリー
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加藤 弘一
東芝研究開発センターlsi基盤技術ラボ
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加藤 弘一
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加藤 弘一
東芝R&Dセンター
著作論文
- 窒素の強凝集によるSi(100)窒化膜形成機構
- 高窒素濃度SiON膜のNBTI特性とその窒素起因の劣化メカニズム
- Si(100)表面初期酸化における層状成長とP_欠陥生成
- 23pRJ-3 第一原理計算によるSiON膜のデザインと実現(実在表面・機能表面の物理,シンポジウム,領域9,表面・界面,結晶成長)
- 第一原理計算によるSi表面酸化過程の考察