齋藤 武博 | NECエレクトロニクス(株)先端プロセス事業部
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概要
関連著者
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齋藤 武博
NECエレクトロニクス(株)先端プロセス事業部
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石橋 正博
NEC
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加我 由佳里
NEC
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戸田 昭夫
日本電気(株)シリコンシステム研究所
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NECエレクトロニクス(株)先端プロセス事業部
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(株)NEC情報システムズ基盤ソフトウエア(事)
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NECエレクトロニクス(株)先端プロセス事業部
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NECエレクトロニクス(株)先端プロセス事業部
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NECエレクトロニクス(株)先端プロセス事業部
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日本電気・資源環境技術研究所
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山本 一郎
Necエレクトロニクス 先端デバイス開発事業部
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宇野 隆行
NEC
著作論文
- 極微細MOSトランジスタのプロセス誘起応力に関する有限要素解析 : 有限要素応力解析と収束電子線回折によるその妥当性の検討(材料の内部構造と力学特性)
- ULSI微細Cuダマシン配線の応力誘起ボイドに関する3-D弾塑性有限要素解析
- 温度サイクル負荷時におけるLSIパッケージの封止樹脂クラックに関する解析
- 樹脂封止パッケージのT/C寿命の予測