RFプラズマCVD法により作製したDLC薄膜の熱電性能評価

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概要

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著者

• 原口 忠男

  茨城大学 工学部 知能システム工学科

• 原口 忠男

  茨城大学 工学部

• 中村 雅史

  茨城大学 工学部

• 内山 賢

  茨城大学 大学院理工学研究科

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