311 DLC被膜の熱電性能に及ぼす窒素含有率の影響(OS3-(3)オーガナイズドセッション《環境とエネルギー》)
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概要
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Nitrogen doped diamond like amorphous carbon (DLC) thin films on grass substrate were prepared by radio frequency (rf) plasma chemical vapor deposition (CVD) using CH4 as the source of carbon and with different N_2 flow rates (N2 : CH4 gas ratios between 0 : 100 and 40 : 60), at 270〜300K. The resistivity of the film were measured by Van der pauw method. The nitrogen content in the films was about 3.8-6.0%, obtained from Glow discharge optical emission spectroscopy. The thermoelectric performance of nitrogen doped DLC was increased step by step with increasing nitrogen flow rate. The difference of thermoelectric performance was decreased with the increase temperature.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2010-08-27
著者
-
中村 雅史
九州大学臨床・腫瘍外科
-
中村 雅史
茨城大学大学院理工学研究科
-
原口 忠男
茨城大学 工学部
-
原口 忠男
茨城大
-
内山 賢
茨城大学 大学院理工学研究科
-
中村 雅史
茨城大 工
-
原口 忠男
茨城大学工業短期大学部
-
内山 賢
茨城大院
-
永谷 聡
茨城大院
-
中村 雅史
茨城大
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