イオンビームを用いたナノワイヤーの形成 (特集 新たな技術の発掘を目指して(1)材料分野)

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概要

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著者

• 田川 精一

  阪大産研

• 佃 諭志

  大阪大学産業科学研究所

• 関 修平

  大阪大学産業科学研究所

• 田川 精一

  大阪大学産業科学研究所

• Tagawa S

  The Inst. Of Scientific And Industrial Res. Osaka Univ.

• Tagawa S

  Osaka Univ. Osaka Jpn

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