プロセス ロジック混載強誘電体メモリ回路技術の開発 (半導体デバイス特集) -- (基盤技術)
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概要
著者
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山田 淳一
Necエレクトロニクス株式会社第二開発事業本部第四システムlsi事業部
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小池 洋紀
NECエレクトロニクス株式会社第二開発事業本部第四システムLSI事業部
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三輪 達
NECシリコンシステム研究所
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山田 純一
日本電気(株)
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