29a-G-2 プラズマドーピングを用いた低抵抗浅接合形成技術
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概要
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- 1997-03-28
著者
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堀 敦
松下電器産業(株)、半導体研究センター
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高瀬 道彦
松下電器産業(株)、半導体研究センター
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水野 文二
松下電器産業(株)、半導体研究センター
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山下 恭司
松下電器産業(株)半導体研究センター
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谷村 彰一
松下電器産業(株)半導体研究センター
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