フェイルビットマップ相関解析システム
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概要
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LSIの歩留り向上のため、不良を引き起こしたパーティクル(異物)の発生工程を特定し不良対策(パーティクル除去対策等)を講じている。従来、SEM等を用いてLSIを観察しHF等で膜剥離を行ってパーティクルを検出していたが、一不良箇所当たり約1時間も時間がかかるため、不良を引き起こすパーティクルの発生工程を特定するに十分な量のデータを得られなかった。我々は、不良を引き起こしたパーティクルの発生工程を素早く特定するフェイルビットマップ相関解析システムを開発し、不良対策が必要な工程の優先順位の確定を可能にしたので報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1995-09-05
著者
-
松本 茂
松下電器産業(株)
-
水野 文二
松下電器産業(株)、半導体研究センター
-
谷村 彰一
松下電器産業(株)半導体研究センター
-
水野 文二
松下電器産業
-
水野 文二
松下電器産業(株)半導体研究センター
-
中田 一樹
松下電器産業(株)半導体研究センター
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萩 俊夫
松下電器産業(株)半導体研究センター
-
谷村 彰一
半導体研究センター
-
谷村 彰一
松下電器産業(株)
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