対向ターゲット式スパッタ法によるZnO : Al透明導電薄膜の作成
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概要
著者
-
小西 亮介
鳥取大学工学部
-
野田 和宏
鳥取大学工学部電気電子工学科
-
岡村 芳郎
鳥取大学工学部電気電子工学科
-
安田 豊田郎
鳥取大学工学部電気電子工学科
-
原田 久将
鳥取大学工学部電気電子工学科
-
笹倉 博
鳥取大学工学部電気電子工学科
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