対向タ-ゲット式スパッタ法によるZnO:Al薄膜の基板温度依存性

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概要

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• 電子情報通信学会エレクトロニクスソサイエティの論文

著者

• 笹倉 博

  鳥取大 工

• 小西 亮介

  鳥取大学工学部

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