対向ターゲット式スパッタ法による SnO_2 薄膜の作成 : 熱処理による感度の改善
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概要
著者
-
阿部 暁
鳥取大学工学部電気電子工学科
-
尾崎 知幸
鳥取大学大学院工学研究科
-
尾崎 知幸
鳥取大学工学部
-
小西 亮介
鳥取大学工学部
-
渡邉 啓央
鳥取大学工学部電気電子工学科
-
小谷 昌弘
鳥取大学工学部電気電子工学科
-
溝口 英二
鳥取大学工学部電気電子工学科
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