SnO<SUB>2</SUB>薄膜センサのPd添加効果

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概要

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今回我々は, SnO<SUB>2</SUB>にPdを添加することによる感度の向上を確認した.また, これらについて, H<SUB>2</SUB>吸着によるHall移動度, キャリア密度の変化を測定し, そのメカニズムを検討, 考察した.<BR>その結果は次の通りである.<BR>(1) Pdを添加することにより, 表面吸着酸素の量が増え, またそれは内部に深く入り込んでいた.これは, Pdによるスピルオーバー効果により吸着酸素が表面から内部に入り込んだと思われる.<BR>(2) SnO<SUB>2</SUB>, SnO<SUB>2</SUB> : Pd各々の還元性ガスに対する反応は, 前者ではそのキャリア密度が, 後者ではそのHall移動度が主に影響していた.これは, Pdを添加したものは, 表面吸着酸素のみでなく, その内部にも酸素が多量に入り込んでおり, 還元性ガスにより表面の酸素が脱離すると, その内部の酸素が拡散により表面にでてきて吸着すると思われる.その結果, Hall移動度が増加すると考えられる.
日本真空協会の論文

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