ターボ分子ポンプ系による超高真空の作成
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概要
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Using a turbo-molecular pump with conflat seal flange, a UHV system is designed. In this system, after bakeout of 200°C, 20 hours, ultimate pressure is 1.4×10<SUP>-10</SUP> Torr. Following the bakeout process, with operation of titanium sublimation pump, the pressure of the system is lowered to 4.5×10<SUP>-10</SUP> Torr. Residual gas analyses of the system are also carried out. In this paper, the method for achieving of more lower pressure is discussed.
- 日本真空協会の論文
著者
-
宮原 昭
名古屋大学プラズマ研究所
-
赤石 憲也
名古屋大プラズマ研究所
-
壁谷 善三郎
名大プラズマ研
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赤石 憲也
名古屋大学プラズマ研究所
-
壁谷 善三郎
名古屋大学工学部
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壁谷 善三郎
名古屋大学プラズマ研究所
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