Si簿膜の蒸着とイオン照射によるセラミックスのトライボロジー特性の改善
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概要
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Masao Kohzaki, Shoji Noda. Haruo Doi and Osami Kamigaito : Improvement of The Tribological Properties of Ceramics by Si Film Deposition and Ion Irradiation.<BR>We studied the tribological properties of surface modified SiC ceramics with a pin-on-disk friction and wear tester in an ambient atmosphere without oil lubrication. The friction coefficient between Si film deposited SiC(Si/SiC) and a diamond pin was about 0.05, which was smaller than one half of that between SiC and a diamond pin. The low friction state of Si/SiC lasted for 40 hours when the Si/SiC was irradiated with Ar<SUP>+</SUP> ions. Ar<SUP>+</SUP> ion irradiation was also effective for reducing the wear. Effectively no wear was detected in Si/SiC irradiated to the dose over 5 × 10<SUP>15</SUP> ions/cm<SUP>2</SUP>.
- 社団法人 粉体粉末冶金協会の論文
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