斜め蒸着膜のミクロ構造
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概要
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An Obliquely deposited thin film has a unique microstructure; a nano-composite of void and an inclined platelet of deposited material. Obliquely deposited oxide thin films of the inclined platelet microstructure have been demonstrated to have birefringence. Oblique deposition process was computer-simulated and the platelet microstructure was shown to be explained basically in terms of the self-shadowing effect.
- 社団法人 粉体粉末冶金協会の論文
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