マイクロ波超伝導共振器を用いた高感度テラヘルツ波検出器の開発(マイクロ波超伝導,マイクロ波一般)
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概要
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機械式冷凍で持続可能な4Kで動作する高感度テラヘルツ波検出器の基礎開発を行ってきた。検出器には超伝導検出器の1種である力学インダクタンス検出器を採用した。検出器の動作温度を4Kとするために、検出器を構成する超伝導材料としてバルクの超伝導転移温度が約16Kと高く、また高感度化に必要な高品質膜が作製しやすい窒化ニオブ(NbN)を採用した。窒化ニオブ膜はMgO基板上にマグネトロンスパッタ法で成長させ、175nmで超伝導転移温度15.7Kと良好な結果を得た。また、単位体積当たりの検出器数を増やす際に問題となる素子間クロストーク量を電磁界解析ソフトDesignerで推定した。3つの異なる構造についてクロストーク量を比較し、クロストークの原因は誘導性結合と容量性結合によって説明できることを示す。また、クロストークを抑制するためには検出器のインダクタンス部分を渦巻き型にすることが有効であることを示す。
- 一般社団法人電子情報通信学会の論文
- 2013-04-12
著者
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明連 広昭
埼玉大学大学院理工学研究科
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田井野 徹
埼玉大学大学院理工学研究科
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田井野 徹
埼玉大学大学院・理工学研究科
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成瀬 雅人
埼玉大学大学院理工学研究科
-
渡辺 芳晴
埼玉大学大学院理工学研究科
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布川 裕真
埼玉大学大学院理工学研究科
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