スパイラル共振器を用いたマイクロ波力学インダクタンス検出器アレイの設計と評価(マイクロ波超伝導,マイクロ波一般)
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概要
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対称スパイラル共振器を用いたマイクロ波力学インダクタンス検出器(Microwave Kinetic Inductance Detectors: MKIDs)アレイの設計を行った。電磁界シミュレーションにより,無負荷Q値2×10^5,最大減衰量30dBの半波長共振器が得られた。DCマグネトロンスパッタリング法によりm面サファイア基板上に成膜したNbN薄膜を用いて9素子アレイMKIDsを作製した。マイクロ波特性はベクトルネットワークアナライザにより測定し,4.7GHz近傍において9素子に対応した半波長共振が確認された。
- 一般社団法人電子情報通信学会の論文
- 2013-04-12
著者
-
大嶋 重利
山形大学大学院理工学研究科
-
田井野 徹
埼玉大学大学院理工学研究科
-
大谷 知行
理化学研究所
-
山田 博信
山形大学工学部
-
有吉 誠一郎
名古屋工業大学大学院・工学研究科
-
中島 健介
山形大学大学院・理工学研究科
-
齊藤 敦
山形大学大学院・理工学研究科
-
田井野 徹
埼玉大学大学院・理工学研究科
-
大谷 知行
理化学研究所テラヘルツイメージング研究チーム
-
林 賢人
山形大学大学院理工学研究科
-
小川 裕平
山形大学大学院理工学研究科
-
村田 光茂
山形大学大学院理工学研究科
-
田中 希
山形大学大学院理工学研究科
-
澤田 俊宏
山形大学大学院理工学研究科
-
山田 博信
山形大学大学院理工学研究科
-
田之上 寛之
埼玉大学大学院理工学研究科
-
大嶋 重利
山形大学大学院・理工学研究科
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