3-4 共有電極を用いた静電誘導型エネルギーハーベスタ(OS3 電池レス・デバイスのためのエネルギーハーベストの展開)
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概要
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In this study, an electret based energy harvester with a single silicon structure that shares harvesting counter electrodes and charging grid is demonstrated. The shared electrode achieves the batch fabrication process that can avoid the charge leakage from the charged electret. The mass structure supported by the thin Si spring has resonant frequency of 40Hz. The harvesting demonstration showed the 0.23μW at 10Hz, 0.1G with load resistance of 1MΩ.
- 2011-09-25
著者
-
神田 健介
兵庫県立大学
-
藤井 孝平
兵庫県立大学
-
樋口 行平
科学技術振興機構erato前中センシング融合プロジェクト
-
前中 一介
兵庫県立大学大学院工学研究科
-
前中 一介
兵庫県立大
-
樋口 公平
JST-ERATO
-
藤田 孝之
兵庫県立大
-
大西 斗志一
兵庫県立大
-
藤井 孝平
兵庫県立大
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