変位拡大機構付一体型精密直動位置決めステージの開発(研究)
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概要
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A piezoelectric actuator is used as a positioning device which produces large force, high speed and high response. In practical use for a micro-positioning system, however, force support and displacement expansion mechanism is required to obtain precise output displacement. This research deals with the integrated-type linear positioning stage having displacement expansion mechanism. This stage consists of 2 piezoelectric actuators, a base stage body, two kinds of hinges, and displacement expansion mechanism. This stage is designed to be driven in the X direction, while two piezoelectric actuators are actuated synchronistically. The basic property of positioning stage and the integral controlling system are described in this report.
- 2012-12-10
著者
-
吉村 靖夫
日本時計学会
-
堤 博貴
東京工業高等専門学校
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堤 博貴
東京高専
-
吉村 靖夫
東京高専 機械工学科
-
吉村 靖夫
東京工業高等専門学校
-
若槻 哲平
東京工業高等専門学校:(現)日本ミシュランタイヤ(株)
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