微小位置決め用変位拡大てこ付き一体型XYZテーブルの開発
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概要
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Tables such as what we call X, XY and XYZ-table play an important role of fine positioning for equipments like optical microscope, three, dimensional measuring machine, semiconductor-producing machine and so on. This paper states mainly on the design of the one-piece XYZ table with levers for magnifying input displacements, and states the performances, that is, interferential ratios among three axes and magnifying efficiency.
- 社団法人日本時計学会の論文
著者
-
吉村 靖夫
日本時計学会
-
吉村 靖夫
東京高専
-
吉村 靖夫
東京工業高専
-
高橋 一
オリンパス株式会社
-
高橋 一
オリンパス光学工業株式会社
-
上 喜裕
オリンパス光学
-
吉村 靖夫
東京高専 機械工学科
-
吉村 靖夫
東京高等専門学校
-
Yong Koh
東京工業高等専門学校機械工学科
-
吉村 靖夫
東京工業高等専門学校
-
上 喜裕
オリンパス光学工業(株)
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