微小位置決め用一体型XYテーブルの開発 -駆動用口型ばねの剛性について-
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概要
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- 1998-09-01
著者
-
高橋 一
オリンパス株式会社
-
堤 博貴
東京工業高等専門学校
-
堤 博貴
東京高専
-
高橋 一
オリンパス光学工業株式会社
-
上 喜裕
オリンパス光学
-
吉村 靖生
東京高専
-
上 喜裕
オリンパス光学工業(株)
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