508 圧子圧入法による単結晶シリコンウエハのき裂形状と破壊靱性値(切削・研削・研磨加工II)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
This paper provides indentation crack patterns and fracture toughness on single crystal silicon wafers introduced by a Vickers Indenter. In this study, fracture toughness(K_<IC>) was measured on the major planes of single crystal silicon using indentation fracture (IF) method at room temperature. The values of K_<IC> on various major surface were obtained by IF method. It appears that K_<IC> on each surface orientation decreases slightly with increasing elastic parameter including Young's modulus and Poisson's ratio.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2010-10-23
著者
関連論文
- 105 溶融鉛フリーはんだの表面張力に及ぼす加熱温度の影響(機械材料・新素材II)
- セラミック-金属接合体の界面端部に生じる残留応力低減方法に関する研究
- Ti-6Al-4V製ボルトの締付け特性(プラズマ浸炭処理効果)
- 107 チタン合金製ボルトの締付け特性(接合・界面II,一般セッション)
- 21319 圧子圧入法による単結晶シリコンの破壊靭性評価(材料強度と構造設(2),OS.5 材料強度と構造設計)
- 202 温度負荷におけるねじ締結体の軸力挙動 : 締付け長さの影響(材料力学I)
- 331 GFRP機械的継手の疲労強度に及ぼす過大荷重の影響(産業機械II,一般セッション)
- 鉄道レール用ゆるみ止めナットの締付け特性
- 332 セラミック/金属接合材の引張強度に及ぼす界面端形状の影響(応力・歪,平成20年度春季全国大会)
- 601 セラミック/金属接合体の引張強度に及ぼす界面端形状の影響(接着接合の力学)
- 703 冷風研削加工における先細末広ノズルの冷却特性と表面層残留応力との関係(ポスターセッション)
- 610 GFRP機械的継手の腐食環境における疲労強度(複合材料I,一般セッション)
- セラミック/金属接合材の引張強度に及ぼす金属側界面端形状の影響
- 503 円弧状自由縁を有する異材接合体の引張強度に及ぼす界面端形状の影響(OS8:接合・複合材料の強度と力学(1),学術講演)
- 先細末広ノズルを用いた冷風研削加工における表面性状
- 冷風研削加工における先細末広ノズルの噴流冷却特性の評価
- 斜め衝撃を受けるアルミニウム円管の強度及び吸収性能
- セラミックス/金属接合体の引張強度に及ぼす界面端形状の影響
- 接合強度と応力特異性指数の界面端形状依存性(材料工学II)
- GFRP機械的継手の食塩水環境における疲労強度
- 303 GFRP 製ねじの締付け特性に及ぼすナット厚さの影響
- 20802 溶融鉛フリーはんだの表面張力評価(材料特性と診断,一般講演)
- 1-E-7 直下型地震による対向列車衝突事故の危険性を低減させる鉄道ダイヤの提案(スケジューリング)
- GFRP機械的継手の疲労強度に及ぼすフレッチングの影響
- ステンレス鋼のフレッチング疲労強度に及ぼす腐食環境の影響 : アルミナセラミックスおよびオーステナイト系ステンレス鋼パッドを組合わせた場合
- 21318 単結晶シリコンウエハにおける破壊挙動と破壊靭性評価(材料強度と構造設(2),OS.5 材料強度と構造設計)
- 133 平面曲げ荷重下のフレッチング疲労に及ぼす腐食環境の影響(腐食疲労)
- 20407 鉛フリーはんだの表面張力評価(材料加工(2))
- 853 セラミック/金属接合体強度に及ぼす金属厚さの影響(接着接合の力学I)
- GS1-3 機械を構成する締結要素の強度的使用効率 : 小ねじの締付けにおける軸力管理(一般セッション)
- T0301-1-4 アルミニウム細線の疲労試験(マイクロ・ナノ構造体の強度・力学特性)
- 168 チタン製小ねじの締付けについて(機素潤滑設計)
- 534 繰返し温度負荷を受けるねじ締結体の軸力挙動(合金鋼の疲労強度,一般セッション)
- 鉄道レール用ゆるみ止めナットの荷重分布
- 504 GFRP積層材の衝撃圧縮特性に及ぼす板厚の影響(G3:強度・衝撃,G3:強度・衝撃)
- GFRP積層板の衝撃吸収性能及び強度
- CFRPのフレッティング疲労
- K-1001 CFRPのフレッティング疲労強度(J04-1 フレッティング摩耗と疲労(1))(J04 フレッティング摩耗と疲労)
- CFRP機械的継手の疲労強度
- 419 衝撃荷重を受けるねじ締結体の吸収性能に及ぼす影響
- 冷風研削加工に用いる冷風供給ノズルの基礎的検討 : 冷風研削加工に用いるラバルノズルの適用
- 研削面性状管理システムの開発
- 5-101 マシニングセンタを用いた加工演習におけるCAD/CAM利用環境の構築(口頭発表論文,(5)実験・実技-I)
- (141)機械工学基礎教育における製図授業の概要と教育効果(セッション40 教育システムA(講義・演習)X)
- 506 GFRP ねじの引張特性に及ぼすナット厚さの影響
- 応力特異性指数に基づく異材接合体強度の簡易評価
- 異材接合界面端部近傍の残留応力低減に関する検討 : 残留応力を低減させる接合方法
- (81) ExcelVBAによる情報処理言語教育(第24セッション CAI(I))
- プログラミング教育用言語としての Excel VBA の評価
- (130) 表計算ソフトの工学教育適用への検討(第33セッション コンピュータ援用教育(2))
- 531 ポテンシャル理論を基礎にした液滴形状予測に関する基礎的検討(シミュレーション工学)
- 異材強度と界面端形状との関係(材料工学II)
- 117 はめあい軸の疲労強度に及ぼす腐食環境の影響(第4報)(腐食疲労)
- 平均・分散検定を用いた小ねじの締付け試験における繰返し試験回数の妥当性について
- 小型試験片を用いた一軸引張試験によるはんだ合金の力学的特性
- セラミックと金属材料との接合技術の開発 : 界面端形状修正による残留応力の低減
- 1005 T継手異材接合の接合強度に及ぼす界面任意形状効果(O.S.6-2 接合と皮膜)(オーガナイズドセッション6 : 先進材料の機能と強度特性)
- 228 T継手異材接合の接合強度に及ぼす界面任意形状効果
- 平面曲げ荷重下のフレッチング疲労に及ぼす腐食環境の影響
- 機械工学科における技術者教育
- 冷風研削加工用矩形断面先細末広ノズルの開発
- 冷風研削加工用矩形断面先細末広ノズルの開発(生産加工)
- 冷風旋削加工における超音速先細末広ノズルの開発とその冷却性
- LCA手法を用いた環境対応加工の環境負荷評価 : 環境対応施削加工における二酸化炭素排出量
- 冷風加工法による冷風供給用超音波ノズルの開発
- 画像計測による液滴幾何学条件を用いた液滴形状算出法
- 2平行板間の溶融はんだ自由表面形状 (非線形問題の数値シミュレーションと実験による研究)
- 任意の材料定数の組み合せにおける異材接合体の界面形状選択に関する検討 : 応力特異性に基づく異材接合体の界面幾何学形状選択に関する研究(第2報)
- 接合温度一定条件におけるTiB_2-Ni接合体の界面形状選択に関する検討 : 応力特異性に基づく異材接合体の界面幾何学形状選択に関する研究(第1報)
- 軸対称異種材料接合体の残留応力に及ぼす温度場の影響 : 定傾斜温度分布状態の弾性解析
- 405 異材接合体強度と応力特異性指数との相関
- 丸棒異種材料接合体の残留応力解析に関する検討 : 熱弾性問題における軸対称状態と平面ひずみ状態との比較
- 異種材料接合体における有限要素分割に関する検討 : 応力特異性に及ぼす要素分割の影響
- 223 異種材料接合体の引張強度の評価
- 552 セラミック-金属接合体強度に及ぼす金属側界面端形状の影響(接着接合の力業)
- 507 応力緩和法および圧子圧入法によるはんだ合金の力学的特性(切削・研削・研磨加工II)
- 033 熱負荷を受けるねじ締結体の軸力へ及ぼす座金の影響(GS5-1 一般セッション)
- 21501 引張試験および圧子圧入法によるはんだ合金の力学的特性(一般講演 機械材料・材料科学(1))
- 21419 導電性セラミック-金属接合体の界面端部に生じる残留応力低減方法に関する研究(一般講演 疲労・残留応力)
- 21408 セラミック/金属接合体引張強度に及ぼす界面端幾何形状の影響(一般講演 複合材料・異材接合)
- 2303 機械を構成する締結要素の強度的使用効率(第2報)(ねじの特性,一般講演)
- 508 圧子圧入法による単結晶シリコンウエハのき裂形状と破壊靱性値(切削・研削・研磨加工II)
- 21412 圧子圧入法による単結晶シリコンウエハの圧痕頂角からのき裂と破壊靭性(一般講演 破壊靭性)
- 21515 単結晶シリコンウエハの引掻きによる表面損傷機構(一般講演 強度・破壊)
- 518 衝撃荷重を受ける各種材料の摩擦係数の評価(衝撃現象の測定方法,衝撃負荷に対する材料・構造の応答,オーガナイスドセッション9)
- 536 マイクロサイズ材料の引張試験(結晶・寸法と計測,塑性挙動のモデリングとシミュレーション-ナノからマクロまで-,オーガナイスドセッション5)
- 707 機械を構成する締結要素の強度的使用効率 : (第3報)チタン及びアルミ製小ねじの締付けにおける軸力管理(機械要素,一般セッション)
- はんだ接合部の熱変形に及ぼすアンダーフィル剛性の影響
- 502 単結晶シリコンウエハ主要面の引掻き試験による表面損傷機構の評価(切削・研削・研磨加工I)
- 117303 単結晶シリコンウエハのへき開面における破壊靱性値(OS04 材料・機械・構造物における強度と寿命1,オーガナイズド・セッション)
- 109 導電性ジルコニアのワイヤ放電加工特性(加工II)
- 117302 セラミック/金属接合界面端近傍の残留応力に及ぼす金属側界面端形状の影響(OS04 材料・機械・構造物における強度と寿命1,オーガナイズド・セッション)
- 507 冷風加工における超音速先細末広ノズルの開発とその冷却性(切削・研削・研磨加工II)
- 858 ばね要素を用いた引張耐久試験機の試作開発および基礎実験結果(材料力学V)
- GS07 地震によるスプリンクラ配管構造の検討事例(GS-2 一般セッション2,一般セッション)
- GS08 ねじの機械的性質と強度的使用効率(GS-2 一般セッション2,一般セッション)