21319 圧子圧入法による単結晶シリコンの破壊靭性評価(材料強度と構造設(2),OS.5 材料強度と構造設計)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
This paper provides an evaluation of fracture behavior and fracture toughness on single crystal silicon wafers. In this study, fracture toughness (K_<IC>) were measured on the major planes of single crystal silicon using indentation fracture (IF) method at room temperature. The values of K_<IC> on various major surface were obtained by IF method. It appears that K_<IC> on each surface orientation increases slightly with increasing elastic parameter including Young's modulus and Poisson's ratio Poisson's ratio.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2009-03-05
著者
-
小久保 邦雄
工学院大学工学部機械工学科
-
小久保 邦雄
工学院大学
-
小久保 邦雄
工学院
-
小久保 邦雄
工学院大(工学部)
-
立野 昌義
工学院大学
-
中村 博志
工学院大院
-
小久保 邦雄
工学院大 工
-
小久保 邦雄
工学院大
-
立野 昌義
工学院大
-
小久保 邦雄
工学院大学名誉教授
関連論文
- クリンチング継手で接合したアルミニウム組立梁
- 結晶粒微細化を目的とした強加工法の開発
- セラミック-金属接合体の界面端部に生じる残留応力低減方法に関する研究
- 1262 液体を満たした薄肉容器の地震荷重下の座屈限界の検討(G03-11 材料力学(11)疲労・強度4,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- 1164 容器内流体のスロッシング抑制法の研究(G03-7 材料力学(7)力学挙動3,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- 円管の塑性座屈を利用した締結ボルトの実験と数値解析(締結・接合・接着部の評価技術)
- クリンチング継手の疲労強さに及ぼす板幅と腐食環境の影響
- アルミニウムダブルスキン構造のエネルギー吸収材の評価
- 658 低降伏応力媒体の減衰機構の解析(振動・音響)
- 555 ページめくりゴムローラの解析(摩擦・摩耗)
- 円管の塑性座屈を利用した構造締結(G03-11 構成式・変形解析(3),G03 材料力学)
- フランジ付き円管の塑性座屈を利用した構造締結
- 円管の塑性座屈を利用した構造締結
- 段付き円管の塑性バルジとエネルギー吸収
- 超音波を利用した高周波疲労試験
- 21319 圧子圧入法による単結晶シリコンの破壊靭性評価(材料強度と構造設(2),OS.5 材料強度と構造設計)
- 519 チタン系材料の強度特性に及ぼす表面処理条件の検討(GS2-1:バイオマテリアル(1))
- 518 医療用スクリューの締付け特性評価法の検討(GS2-1:バイオマテリアル(1))
- 202 温度負荷におけるねじ締結体の軸力挙動 : 締付け長さの影響(材料力学I)
- B405 チタン系材料の表面処理条件が疲労特性に及ぼす影響(生体材料)
- 1551 薄板構造の圧壊強度に及ぼす溶接部の影響(S14 溶接・接合の動向とその展開,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- 1159 効率的なうす板塑性加工法とその解析法の検討(G03-6 材料力学(6)力学挙動2,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- 331 GFRP機械的継手の疲労強度に及ぼす過大荷重の影響(産業機械II,一般セッション)
- 鉄道レール用ゆるみ止めナットの締付け特性
- 332 セラミック/金属接合材の引張強度に及ぼす界面端形状の影響(応力・歪,平成20年度春季全国大会)
- 408 肩鎖関節骨プレートの動的特性における適正形状の検討(OS7-2:関節のバイオメカニクス(2),OS7:関節のバイオメカニクス)
- 601 セラミック/金属接合体の引張強度に及ぼす界面端形状の影響(接着接合の力学)
- 2403 チタン系材料の高サイクル疲労特性に及ぼす表面処理条件の検討(G03-5 表面改質処理,G03 材料力学)
- 0907 肩鎖関節用骨プレートの形状因子が動的特性に及ぼす影響(J07-2 バイオ・医療と設計(2),J07 バイオ・医療と設計)
- 20715 肩鎖関節プレートの動的特性に及ぼす形状的因子の検討(バイオエンジニアリングII,OS.7 バイオエンジニアリング)
- 619 撓骨遠位端固定プレートの動的特性に及ぼす形状的因子の検討(GS-2:一般セッション:骨・関節,オーガナイズドセッション5:組織・器官のメカノバイオロジー)
- 703 冷風研削加工における先細末広ノズルの冷却特性と表面層残留応力との関係(ポスターセッション)
- B118 肩鎖関節プレートの動的荷重下における赤外線応力分布特性の検討(B1-4 関節・人工関節)
- 熱変形した高速接合部の赤外線応力分布特性における検討
- 610 GFRP機械的継手の腐食環境における疲労強度(複合材料I,一般セッション)
- 0.1mmアルミニウム薄板のティグ溶接におけるアーク安定性について
- セラミック/金属接合材の引張強度に及ぼす金属側界面端形状の影響
- 503 円弧状自由縁を有する異材接合体の引張強度に及ぼす界面端形状の影響(OS8:接合・複合材料の強度と力学(1),学術講演)
- 1761 鉄道レール用ゆるみ止めナットの荷重分布(G03-3 応力解析,G03 材料力学)
- 1336 薄板高速接合による変形が疲労特性に及ぼす影響(S21-5 膜材と薄板材の疲労,S21 金属材料の疲労特性と破壊機構)
- 先細末広ノズルを用いた冷風研削加工における表面性状
- 407 0.1mm薄板材の接合がアーク特性に及ぼす影響(アーク溶接)
- 冷風研削加工における先細末広ノズルの噴流冷却特性の評価
- 斜め衝撃を受けるアルミニウム円管の強度及び吸収性能
- セラミックス/金属接合体の引張強度に及ぼす界面端形状の影響
- 接合強度と応力特異性指数の界面端形状依存性(材料工学II)
- J1102-1-4 医療用スクリューの締付け条件が強度特性に及ぼす影響(ライフサポート1:生体計測)
- アンダーフィルの物性値の適正化によるはんだ接合部の信頼性向上
- ロープのクロスオーバ形状の実測と解析の比較
- 733 軸荷重を受ける角管の変形とエネルギー吸収性能(OS11(4) 構造体の高速変形と応力波)
- 円筒かくのせん断座屈の解析 : 第3報,座屈後の挙動
- 円筒かくのせん断座屈の解析 : 第2報, 組合せ荷重の影響
- 円筒かくのせん断座屈の解析 : 第1報,初期不整の影響
- 円筒容器の動的座屈に関する実験的研究 : 第3報、横荷重と軸圧縮荷重および振動台加振下での座屈モードの比較検討
- 円筒容器の動的座屈に関する実験的研究 : 第2報, 静的横荷重と振動台加振の比較検討
- 円筒容器の動的座屈に関する実験的研究 : 第1報, 静的座屈評価式の適用性の検討
- 初期応力下の軸対称容器の横荷重による座屈
- 1158 ページめくりゴムローラの形状の検討(G03-6 材料力学(6)力学挙動2,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- 126 ページめくりゴムローラの解析(GS-2 構造解析・応力解析(2))
- 部分球かくの座屈に及ぼす初期不整と境界条件の影響
- 球かくの座屈に及ぼす環境条件の影響
- 球かくの座屈後の挙動
- 外圧をうける球殻の座屈
- マトリックス法による平面骨組の弾塑性解析
- ページめくり挙動の解析
- 軸対称要素を用いた弾塑性座屈解析
- 853 セラミック/金属接合体強度に及ぼす金属厚さの影響(接着接合の力学I)
- T0301-1-4 アルミニウム細線の疲労試験(マイクロ・ナノ構造体の強度・力学特性)
- 冷風研削加工に用いる冷風供給ノズルの基礎的検討 : 冷風研削加工に用いるラバルノズルの適用
- Ti-Fe-O合金の低温高サイクル疲労変形組織
- (141)機械工学基礎教育における製図授業の概要と教育効果(セッション40 教育システムA(講義・演習)X)
- 506 GFRP ねじの引張特性に及ぼすナット厚さの影響
- 423 薄板の高速接合が疲労強度に及ぼす影響(変形と応力(III))
- 218 アルミニウム極薄板の DCEN パルス TIG 溶接の研究
- 異材強度と界面端形状との関係(材料工学II)
- 磁気制御によるDCEN高速TIG溶接の研究
- 円筒巻きロープのクロスオーバの変分解析
- 円筒巻きロープのクロスオーバの解析 : ら旋巻きロープおよびクロスオーバ部と弦との干渉
- 430 研削温度の測定法に関する研究(OS12 研削・砥粒加工)
- 高信頼性構造設計のための材料力学 (特集 市場信頼性を確保する材料力学と強度設計法--破損事故を未然に防ぐノウハウを学ぼう)
- 109 制御磁気が高速溶接に及ぼす影響 : 磁気制御による超高速TIG溶接の研究(第1報)
- DCEN高速TIG溶接における電極形状ならびにトーチ傾斜角の影響
- クリンチング継手の疲労強さの評価 : アルミニウム合金板接合へのクリンチング継手の適用に関する研究 第2報
- クリンチング継手の引張せん断強さの評価 : アルミニウム合金板接合へのクリンチング継手の適用に関する研究 第1報
- 冷風旋削加工における超音速先細末広ノズルの開発とその冷却性
- LCA手法を用いた環境対応加工の環境負荷評価 : 環境対応施削加工における二酸化炭素排出量
- 冷風加工法による冷風供給用超音波ノズルの開発
- 画像計測による液滴幾何学条件を用いた液滴形状算出法
- 冷風研削加工における研削温度に関する研究
- 552 セラミック-金属接合体強度に及ぼす金属側界面端形状の影響(接着接合の力業)
- 506 新チタン合金製ボルトの締付け及び強度特性(締結・接合部の力学・プロセスと信頼性評価(1),ものづくりにおける基礎研究と先端技術の融合)
- 507 応力緩和法および圧子圧入法によるはんだ合金の力学的特性(切削・研削・研磨加工II)
- 033 熱負荷を受けるねじ締結体の軸力へ及ぼす座金の影響(GS5-1 一般セッション)
- 803 圧力円筒テーパねじ端の荷重分布 : 第2報:壁肉厚さの影響(材料・設計(7))
- 21501 引張試験および圧子圧入法によるはんだ合金の力学的特性(一般講演 機械材料・材料科学(1))
- 21419 導電性セラミック-金属接合体の界面端部に生じる残留応力低減方法に関する研究(一般講演 疲労・残留応力)
- 21408 セラミック/金属接合体引張強度に及ぼす界面端幾何形状の影響(一般講演 複合材料・異材接合)
- 研削表面性状コントロールシステムの開発
- 硬式用金属バットの打球時のバットとボールの変形挙動の有限要素法による解析
- はんだ接合部の熱変形に及ぼすアンダーフィル剛性の影響