2A2-A12 三次元マスクレス露光技術による機能性マイクロ流体デバイスの加工
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概要
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This paper presents a novel method of three-dimensional fabrication using Mask-less exposure equipment. The grey-scale data can directly control the height of the photoresist to be exposed without using any mask. We have succeeded in producing three-dimensional microchannel and micro-valve by using the low cost exposure system. Three dimensional curvature of the chamber of the micro-valve prevent any leakage of liquid when the membrane is closed, and this is difficult to be achieved using the conventional two dimensional photolithography techniques. Also, we have succeeded in removing the zona pellucida of oocyte passing through the microchannel whose cross section is reduced in every direction toward the downstream.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
著者
-
岡野 光夫
東京女子医科大学
-
新井 史人
名古屋大学
-
山西 陽子
東北大学
-
中野 琢磨
東北大学
-
糸賀 和義
東京女子医科大学
-
岡野 光夫
東京女子医大
-
沢田 悠
東北大
-
沢田 悠
東北大学
-
山西 陽子
JSTさきがけ
-
中野 琢磨
名古屋大学
-
新井 史人
名古屋大学大学院工学研究科マイクロ・ナノシステム工学専攻
-
糸賀 和義
東女医大先端生命研
-
岡野 光夫
東京女子医・先端生命
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