1A1-B20 セルフォックレンズとPSDを用いた小径深穴計測用センサプローブの開発
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概要
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This paper proposes optical measurements of inner diameter and inclination angle of deep hole. The light of an infrared LD is emitted from a slender probe to the surface of an object and the scattered spot light is focused on 2-dimensional PSD (position sensitive detector) through a long Selfoc rod lens. It was confirmed that the accuracy of the measured distance between the probe and the object wall was less than 20 μm.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2009-05-25
著者
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