半導体レーザと位置検出素子を用いたファジィ制御微圧力計
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概要
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流体工学,計測工学などの分野で微少な圧力を自動で精度よく測ることは,ピトー管を用いた微風速や小流量の測定などに必要である。本研究は非接触センサとして半導体レーザをガラス管マノメータ内のフロート底面に照射し,そのスポツト光を半導体位置検出素子で受ける位置検出システムを応用した。ファジィ制御によりマノメータにつなげられたリザーバタンクを鉛直方向に移動させ,フロートを零点位置に戻すために要したタンク移動距離から微圧(液柱で数mm)を求める微圧力計を試作し,その有訪欧を実験的に明らかにした。
- 大同工業大学の論文
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