1-05-04 Air-Gap型圧電薄膜共振器を使用した高周波フィルタ(バルク波デバイス)
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概要
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This paper describes a proposal of Air-Gap type FBAR with simple structure and its performance up to X-band frequency. We simulated air-gap shape depending on film stress by utilizing finite element method (FEM). It was confirmed that Air-Gap type FBAR has the same performance as conventional hole type FBAR and is applicable up to 9 GHz range.
- 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム運営委員会の論文
- 2007-11-14
著者
-
横山 剛
富士通(株)
-
谷口 眞司
富士通株式会社
-
上田 政則
富士通(株)電子デバイス事業本部
-
西原 時弘
富士通株式会社
-
上田 政則
富士通株式会社
-
上田 政則
富士通研
-
原 基揚
富士通株式会社
-
岩城 匡郁
富士通株式会社
-
佐藤 良夫
富士通株式会社
-
西原 時弘
(株)富士通研究所、ペリフェラルシステム研究所
-
上田 政則
株式会社富士通研究所佐藤フェロー室
-
原 基揚
富士通(株)
-
佐藤 良夫
富士通(株)
-
谷口 眞司
(株)富士通研究所
-
岩城 匡郁
(株)富士通研究所
-
佐藤 良夫
太陽誘電株式会社
-
岩城 匡郁
太陽誘電株式会社マイクロデバイス開発室
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