X-112°Y:LiTaO_3上で浮き電極型一方向性電極を用いた40MHz SAWフィルタ
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概要
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1入力1出力のトランスバーサル型SAWフィルタでは、損失低減のため一方向性電極が利用されている。浮き電極型一方向性電極(Floating electrode type unidirectional transducer, FEUDT)は大きな方向性が得られ、電極形成が一度の成膜/パターニングで行えるため有望であり、これまで電気機械結合係数K~2が大きな128°Y:LiNbO_3(128LN)基盤上で使われてきた。今回、無線LAN IF用40MHzフィルタの小型化を目的として、音速v〜3300m/sと遅く、しかも温度係数の小さなX-112°Y:LiTaO_3(112LT)基盤上でのFEUDTについて検討したので報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1995-09-05
著者
-
佐藤 良夫
(株)富士通研究所 ペリフェラルシステム研究所 メディアデバイス研究部
-
佐藤 良夫
富士通株式会社
-
堤 潤
株式会社富士通研究所佐藤フェロー室
-
堤 潤
(株)富士通研究所
-
佐藤 良夫
(株)富士通研究所
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