FBARフィルタの開発 : SAWフィルタとの比較(特別ワークショップ「RFマイクロエレクトロニクス」)
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概要
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5GHz帯無線LAN用FBAR(Film Bulk Acoustic Resonator)フィルタの開発技術の紹介と、同じ弾性波素子で携帯電話等に既に大量普及しているSAWフィルタとの比較検討を行う。 FBARフィルタの開発の歴史、SAWフィルタに対する技術の特徴を述べる他、5GHz帯FBARフィルタの開発技術として、圧電薄膜の選択と製造法、FBARの構造と設計方法、得られたフィルタ特性及びSAWフィルタとの特性の違いなどを述べる。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2004-03-09
著者
-
佐藤 良夫
(株)富士通研究所 ペリフェラルシステム研究所 メディアデバイス研究部
-
西原 時弘
富士通株式会社
-
佐藤 良夫
富士通株式会社
-
宮下 勉
富士通メディアデバイス株式会社
-
西原 時弘
(株)富士通研究所、ペリフェラルシステム研究所
-
佐藤 良夫
太陽誘電株式会社
-
佐藤 良夫
(株)富士通研究所
-
佐藤 良夫
(株)富士通研究所 明石研究所
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