B-2 高音響インピーダンス電極を使用した圧電薄膜共振器(バルク波デバイス)

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概要

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• Electrode materials applied to Film Bulk Acoustic Resonator (FBAR) and Solidly Mounted Resonator (SMR) play key role in order to realize low-loss filters. This paper describes analysis of AIN-based FBAR regarding effects of acoustic impedance. It is found that coupling factor (k^2) and loss are influenced by acoustic impedance and mainly dominated by Young's modulus.

• 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム運営委員会の論文
• 2006-11-15

著者

• 横山 剛

  富士通(株)

• 佐藤 良夫

  (株)富士通研究所 ペリフェラルシステム研究所 メディアデバイス研究部

• 谷口 眞司

  富士通株式会社

• 西原 時弘

  富士通株式会社

• 上田 政則

  富士通株式会社

• 上田 政則

  富士通研

• 佐藤 良夫

  富士通株式会社

• 西原 時弘

  (株)富士通研究所、ペリフェラルシステム研究所

• 上田 政則

  株式会社富士通研究所佐藤フェロー室

• 上田 政則

  (株)富士通研究所

• 谷口 眞司

  (株)富士通研究所

• 横山 剛

  (株)富士通研究所

• 佐藤 良夫

  太陽誘電株式会社

• 佐藤 良夫

  (株)富士通研究所

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