銅表面酸化膜の構造調査(ショートノート(卒論・修論特集))

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概要

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銅表面の酸化膜厚とその構造について、接触抵抗の測定・オージェ電子分光から検討した。また、過去のデータから酸化膜厚に対して接触抵抗のグラフが単調増加せず振動的に増加したことを検証した。接触抵抗は酸化膜厚を変化させ測定する。この際、酸化膜の皮膜抵抗のみを測定するため、銅の接触面に金を蒸着させた。これにより、接触抵抗から集中抵抗を減少させることができると考えられる。さらにオージェ電子分光で酸化膜の元素を検出し、構造解析を行った。
社団法人電子情報通信学会の論文
2008-02-29

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