銅表面の酸化過程と接触電気現象(<特集>卒論・修論特集)
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概要
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銅表面の酸化膜の厚みとその構造について、接触抵抗の測定から検討した。荷重微調節用にピエゾアクチュエータを用い接触荷重の増加、減少が滑らかに行えるようにした。次に酸化膜厚を変えて接触抵抗を測定し、膜厚依存性を調べた。その結果接触抵抗は振動的に増加することから、膜厚の変化による接触抵抗特性は膜の成分に依存すると思われる。そこで、酸化膜の成長過程をモデル化してみた。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2004-02-27
著者
-
後藤 昌彦
玉川大学工学部
-
後藤 昌彦
玉川大 工
-
田中 貴仁
玉川大学 大学院電子情報工学専攻
-
田中 貴仁
玉川大学大学院電子情報工学専攻
-
染谷 健太
玉川大学大学院電子情報工学専攻
-
箕輪 功
玉川大学大学院電子情報工学専攻
-
後藤 昌彦
玉川大学大学院電子情報工学専攻
-
後藤 昌彦
玉川大学工学部電子工学科
-
箕輪 功
玉川大 工
-
田中 貴仁
玉川大学大学院工学研究科
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