金属界面接触抵抗の酸化膜厚依存性(「ショートノート」(卒業・修論特集))
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概要
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銅表面の酸化膜の厚みとその構造について、接触抵抗の測定から検討した。荷重微調節用にピエゾアクチュエータを用い接触荷重の増加、減少が滑らかに行えるようにした。次に酸化膜厚を変えて接触抵抗を測定し、膜厚依存性を調べた。その結果接触抵抗は振動的に増加することから、膜厚の変化による接触抵抗特性は膜の成分に依存すると思われる。さらに酸化膜の評価を非接触に行うためにエリプソメータを用い表面における光学特性を調べた。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2005-03-04
著者
-
後藤 昌彦
玉川大学工学部
-
箕輪 功
玉川大学 工学部 電子工学科
-
後藤 昌彦
玉川大 工
-
後藤 昌彦
玉川大学 学術研究所
-
田中 貴仁
玉川大学 大学院電子情報工学専攻
-
角田 好司
玉川大学 大学院電子情報工学専攻
-
菅野 辰哉
玉川大学 大学院電子情報工学専攻
-
箕輪 功
玉川大学工学部知能情報システム学科
-
後藤 昌彦
玉川大学工学部電子工学科
-
箕輪 功
玉川大 工
-
箕輪 功
玉川大学 工学部
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