ローラに被覆した二硫化モリブデンスパッタ膜の寿命に及ぼす結晶配向性の影響(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
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概要
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Wear life of molybdenum disulfide films sputtered on rollers has been evaluated using a newly developed testing device. The wear track was investigated by FE-SEM and EPMA. It has been found that the relationship between the wear life and film thickness depends on the crystalline orientation of sputtered molybdenum disulfide. When the C axis of molybdenum disulfide crystal is fast oriented perpendicular or oblique direction to the substrate surface, the wear life is scarcely influenced by the film thickness since the crystal fragments fracture readily. When the C axis is weakly oriented perpendicular or oblique direction to the substrate surface, the wear life increases with the film thickness.
- 2005-07-25
著者
-
池田 満昭
(株)安川電機基礎研究所
-
池田 満昭
安川電機
-
松田 健次
九州工業大学 大学院工学研究院 機械知能工学研究系
-
池田 満昭
九州工業大学 大学院生命体工学研究科 生体機能専攻
-
兼田 〓宏
九州工業大学 工学部機械知能工学科
-
松田 健次
九州工業大学 大学院工学研究院
-
砂原 賢治
(株)安川電機基礎研究所
-
兼田 〓宏
九州共立大学 工学部メカエレクトロニクス学科
-
兼田 〓宏
九州工業大学
-
砂原 賢治
(株)安川電機 品質保証部 信頼性技術センタ
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