二硫化モリブデンスパッタ膜の大気中での摩擦摩耗特性 : 膜形成後の真空チャンバ内への乾燥ガス導入効果
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概要
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- 2009-12-15
著者
-
池田 満昭
安川電機
-
松田 健次
九州工業大学 大学院工学研究院 機械知能工学研究系
-
小熊 清典
(株)安川電機 開発研究所
-
兼田 [モト]宏
九州共立大学 工学部メカエレクトロニクス学科
-
池田 満昭
九州工業大学 大学院生命体工学研究科 生体機能専攻
-
松田 健次
九州工業大学 大学院工学研究院
-
兼田 〓宏
九州共立大学 工学部メカエレクトロニクス学科
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