Ti合金またはSUS304ステンレス鋼シャフトとNi-Feスパッタ膜で構成した磁歪式トルクセンサ出力の温度ドリフト補償法
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概要
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The sputtering technique was used to prepare Ni-Fe magnetostrictive films on Ti-alloy or SUS304 stainless-steel shafts for construction of torque sensors. The factors affecting the thermal drift of the torque sensors are studied as functions of the composition and the thickness of the Ni-Fe films, the thermal expansion coefficients of the Ni-Fe films and the shaft materials, and the thermal expansion coefficient of the pick-up copper coils. The optimal value of the thickness for the determined pattern width for each composition of the Ni-Fe films was found to result in minimum thermal drift of the torque sensor.
- 社団法人日本磁気学会の論文
- 1999-04-01
著者
-
佐々木 厳
安川電機
-
池田 満昭
(株)安川電機基礎研究所
-
上村 浩司
(株)安川電機基礎研究所
-
佐々木 巌
(株)安川電機基礎研究所
-
毛利 佳年雄
名古屋大学工学部
-
池田 満昭
安川電機
-
上村 浩司
安川電機
-
毛利 佳年雄
名古屋大学
-
毛利 佳年雄
名古屋大学学院
-
毛利 佳年雄
名古屋大学工学研究科電気工学専攻
-
池田 満昭
九州工業大学 大学院生命体工学研究科 生体機能専攻
-
毛利 佳年雄
名古屋大
-
佐々木 巌
(株)安川電機
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