Ti合金シャフトとNi-Feスパッタ膜で構成した磁歪式トルクセンサの出力値に及ぼす要因
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概要
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The sputtering technique was used to prepare Ni-Fe magnetostrictive films on Ti-alloy shafts. The factors affecting the output characteristics of the torque sensors are studied as functions of the circuit parameters, the shapes of patterns, and the compositions of Ni-Fe films. The sensitivity of a trorque sensor is proportional to the frequency of the circuit, the pattern width, and the film thickness. The optimal value of the Ni content in Ni-Fe films was found theoretically and experimentally in order to realize maximum sensitivity in torque sensing.
- 社団法人日本磁気学会の論文
- 1998-06-01
著者
-
佐々木 厳
安川電機
-
池田 満昭
(株)安川電機基礎研究所
-
上村 浩司
(株)安川電機基礎研究所
-
毛利 佳年雄
名古屋大学工学部
-
上村 浩司
安川電機
-
佐々木 厳
(株)安川電機基礎研究所
-
毛利 佳年雄
名古屋大学
-
毛利 佳年雄
名古屋大学学院
-
毛利 佳年雄
名古屋大学工学研究科電気工学専攻
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