反応性スパッタ法でローラ上に形成したMo-S-O膜の酸素含有量と潤滑特性の関係
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概要
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- 2005-05-15
著者
-
池田 満昭
安川電機
-
松田 健次
九州工業大学 大学院工学研究院 機械知能工学研究系
-
小熊 清典
(株)安川電機 開発研究所
-
池田 満昭
九州工業大学 大学院生命体工学研究科 生体機能専攻
-
兼田 〓宏
九州工業大学 工学部機械知能工学科
-
松田 健次
九州工業大学 大学院工学研究院
-
砂原 賢治
(株)安川電機基礎研究所
-
兼田 〓宏
九州共立大学 工学部メカエレクトロニクス学科
-
兼田 〓宏
九州工業大学
-
砂原 賢治
(株)安川電機 品質保証部 信頼性技術センタ
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