二硫化モリブデンスパッタ膜の大気中での摩擦摩耗特性に及ぼすアルゴン分圧の影響 : 膜形成後の真空チャンバ内への乾燥空気導入効果
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概要
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- 2010-06-15
著者
-
池田 満昭
安川電機
-
松田 健次
九州工業大学 大学院工学研究院 機械知能工学研究系
-
小熊 清典
(株)安川電機 開発研究所
-
兼田 [モト]宏
九州共立大学 工学部メカエレクトロニクス学科
-
池田 満昭
九州工業大学 大学院生命体工学研究科 生体機能専攻
-
松田 健次
九州工業大学 大学院工学研究院
-
兼田 〓宏
九州共立大学 工学部メカエレクトロニクス学科
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