性能指数に基づくオンチップ配線技術評価 : 長距離配線における伝送線路配線の有効性(配線・実装技術と関連材料技術)
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概要
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本稿では,性能評価指標(FoM:figure of merit)を用いたオンチップ配線線路の評価結果について報告する.RC配線,オンチップ差動伝送線路配線,カーボンナノチューブ配線,光配線について,伝送遅延および消費電力の観点から比較を行う.90nmおよび22nmテクノロジーノードを想定する.比較の結果,22nmテクノロジーノードでは,0.3mm以上の配線において,オンチップ差動伝送線路配線が最高のFoMを達成した.伝送遅延および消費電力の両方に優れる.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2007-01-29
著者
-
伊藤 浩之
東京工業大学精密工学研究所
-
岡田 健一
Tokyo Inst. Of Technol. Yokohama‐shi Jpn
-
益 一哉
東京工業大学
-
岡田 健一
東京工業大学
-
伊藤 浩之
東京工業大学ソリューション研究機構
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