高Q値WLPインダクタおよびその5.8GHz帯LC型電圧制御発振器への応用(配線・実装技術と関連材料技術)
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概要
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本研究では,ウエハレベルパッケージ(WLP)プロセスにより高Q値インダクタを形成したチップを,LC型電圧制御発振器(LC-VCO)回路を形成したチップにフリップチップ接合する,積層チップSip技術を提案する.試作したLC-VCOの中心周波数5.84GHzにおける位相雑音は1MHzオフセットで-119dBc/Hz,周波数可変範囲は5.73GHz〜5.95GHz,消費電力は1.93mW,性能評価指数(FoM)は-192dBc/Hzと良好な結果を得た.WLP技術により作製したインダクタを積層したLC-VCOは,5GHz帯無線通信システムへ応用するのに十分な性能を有することを示した.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2008-02-01
著者
-
岡田 健一
東京工業大学大学院理工学研究科電子物理工学専攻
-
伊藤 達也
(株)フジクラ電子デバイス研究所
-
岡田 健一
Tokyo Inst. Of Technol. Yokohama‐shi Jpn
-
益 一哉
東京工業大学
-
小澤 直行
株式会社フジクラ電子デバイス研究所
-
佐藤 正和
株式会社フジクラ電子デバイス研究所
-
畠山 英樹
(株)フジクラ電子デバイス研究所
-
上道 雄介
(株)フジクラ電子デバイス研究所
-
山内 良三
(株)フジクラ
-
山内 良三
(株)フジクラ光エレクトロニクス研究所
-
山内 良三
株式会社フジクラ光エレクトロニクス研究所光通信研究部
-
山内 良三
株式会社フジクラ
-
岡田 健一
東京工業大学
-
相沢 卓也
株式会社フジクラ
-
上道 雄介
株式会社フジクラ電子デバイス研究所
-
畠山 英樹
東京工業大学統合研究院
-
大橋 一磨
東京工業大学統合研究院
-
伊籐 雄作
東京工業大学統合研究院
-
伊籐 達也
株式会社フジクラ電子デバイス研究所
-
山内 良三
フジクラ
-
相沢 卓也
株式会社フジクラ 光電子技術研究所
-
伊藤 雄作
東京工業大学統合研究院
-
山内 良三
フジクラ 光量子技研
-
上道 雄介
株式会社フジクラ光電子技術研究所
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