2259 レーザスポレーションを利用したダイヤモンド膜の圧縮残留応力評価(S26-4 非破壊評価とモニタリング(4),S26 非破壊評価とモニタリング)
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概要
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We developed a new evaluation method of compressive residual stress of chemical vapor deposited diamond film using laser spallation technique. Spallation produced a circular delamination with slight bulging by several hundreds of nano-meter. The residual stress was evaluated by geometrical momentum balance of the circular patched plate of delamination. Residual stress of -338MPa for microcrystalline diamond film agreed well with one obtained by X-ray diffraction method of -348MPa. Residual stress of diamond film tended to decrease with decrease of crystalline size of diamond film.
- 2005-09-18
著者
-
小川 武史
青山学院大学理工学部
-
内山 友成
青山学院大院
-
竹本 幹男
青山学院大学 理工学部 機械創造工学科
-
池田 隆二
旭ダイヤモンド工業(株)
-
小川 武史
青山学院大
-
池田 隆二
旭ダイヤモンド(株)研究所
-
竹本 幹男
青山学院大学理工学部
-
竹本 幹男
青山学院大
-
内山 友成
青山学院大学 理工学部
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