静圧力と音響粘性力を組み合わせた平面基板の非接触搬送技術の開発 : 搬送ユニットの基礎実験装置の製作(<特集>第17回「電磁力関連のダイナミクス」シンポジウム)

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概要

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• 日本AEM学会の論文
• 2006-03-10

著者

• 磯部 浩巳

  長岡技術科学大学工学部機械系

• 久曽神 煌

  長岡技術科学大学工学部

• 磯部 浩巳

  長岡技術科学大学

• 久曽神 煌

  長岡技術科学大学実務訓練委員長

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