圧電素子を用いた高剛性多自由度微動ステージの開発(第4報)-γステージの試作-
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概要
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- 1995-09-01
著者
-
大岩 孝彰
静岡大学工学部
-
久曽神 煌
長岡技術科学大学実務訓練委員長
-
大岩 孝彰
静岡県大学工学部
-
山本 剛照
長岡技術科学大学院
-
神浦 剛
三菱マテリアル(株)
-
神浦 剛
長岡技術科学大学大学院:(現)三菱マテリアル(株)
-
山本 剛照
トキワエンジニアリング(株)
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