超音波振動を用いたアクティブエアベアリング(強力超音波)
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概要
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本研究は超音波振動により発生するスクイーズ空気膜による能動形空気軸受の開発を目的としている.この方式では残留振動がなく,空圧源が不要で高精度な軸受が実現できると考えられる.本報では,円筒形状を持つ振動方向変換体を用いた構造の空気軸受を試作し,回転誤差の補正を行った結果およびホーンの小形化と支持方法の改善について報告する.
- 2006-12-14
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